芯片刻蚀机的研发到底有多难？

芯片看似小小的一块，确实是电子产品的大脑。中兴芯片事件确实刺痛了国民，暴露了中国芯片产业链的一些薄弱环节。其中芯片薄弱环节像光刻机和EDA工具在本土企业一片空白。亮点就是芯片刻蚀机国产化在本土企业已经做出小有成就，可喜可贺。

芯片制造的关键设备之一，刻蚀机。刻蚀机其实简单点说就是把光刻机刻出的电路结构，在硅片上进行微观雕刻，刻出沟槽或接触孔。刻蚀机在本土得到快速进展，困难是有的，可比空白的光刻机强多了。

难就难在光刻机，它在本土可以说是空白。光刻机原理看似简单，就是用光将掩膜板上的电路结构复制到硅片，过程看似简单，但是难倒了本土众多企业。光刻机和刻蚀机，一个是在硅片做好电路模子，刻蚀机就在硅片已做好的模子上做精细雕刻。就是这样的看似简单的过程，其技术含量太高。

本土生产刻蚀机的企业有中微半导体、北方微电子、金盛微纳科技，说明中国在刻蚀机方面不断努力是有功劳的。只有坚持自主研发，自主创新，才能手握主动权、才能崛起芯片工业、才能不让人掐住命脉！