据称,ASML超过500台光刻机订单积压,原因是缺少配件,特别是镜头,而ASML的高端光刻机镜头被德国蔡司垄断。 不管ASML如何着急需要镜头,德国蔡司也是不紧不慢的供货(也不知是刻意而为之还是产量确实不行,或者不差钱),但是已经跟不上ASML的需求。 蔡司有175年的历史,其光学技术直接推动了半导体制程的发展。据统计,全球80%的芯片使用蔡司的光学元件制造,足以看到蔡司的强大。光刻机镜头组的设计制造是一项极为复杂的系统工程,融合了光学、机械、电子和软件等一系列技术,从而让光学镜头组成为光刻机当中最昂贵最复杂的部件之一。 目前,ASML也是无可奈何,看着大量订单发愁
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