据称，ASML超过500台光刻机订单积压，原因是缺少配件，特别是镜头，而ASML的高端光刻机镜头被德国蔡司垄断。 不管ASML如何着急需要镜头，德国蔡司也是不紧不慢的供货（也不知是刻意而为之还是产量确实不行，或者不差钱），但是已经跟不上ASML的需求。 蔡司有175年的历史，其光学技术直接推动了半导体制程的发展。据统计，全球80%的芯片使用蔡司的光学元件制造，足以看到蔡司的强大。光刻机镜头组的设计制造是一项极为复杂的系统工程，融合了光学、机械、电子和软件等一系列技术，从而让光学镜头组成为光刻机当中最昂贵最复杂的部件之一。 目前，ASML也是无可奈何，看着大量订单发愁
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