据麦姆斯咨询报道，近日，全球光电元件的领导厂商滨松（Hamamatsu）宣布，该公司成功量产超小型、高性能、电磁驱动的MEMS微镜：S12237-03P，并已进入量产阶段。该MEMS微镜具有功耗低、体积小、扫描角度大、镜面反射率高等优点，主要应用领域包括激光扫描（Laser Scanning）、激光打印（Laser Printing）、3D摄像头（3D Camera）、激光雷达（LiDAR）、抬头显示（HUD）、增强现实（Augmented Reality）、气体检测（Gas Detection）等。
图1：滨松MEMS微镜：S12237-03P
表1：滨松MEMS微镜S12237-03P主要参数指标
在这款MEMS微镜中，金属驱动线圈在单晶硅基板上形成，反射镜通过MEMS工艺在金属线圈内部形成，并且在反射镜下方布置磁铁。金属驱动线圈被通入电流后，反射镜可在金属驱动线圈与磁铁相互作用产生的电磁力驱动下绕转梁扭转，进而改变入射在反射镜面上的激光路径，以实现扫描和投影功能。与静电或压电驱动的MEMS微镜相比，电磁驱动的MEMS微镜尺寸更小、驱动电压更低、功耗更低。
图2：滨松MEMS微镜的结构和原理
小尺寸、低功耗的MEMS微镜适用于体积与重量要求高的可穿戴设备领域，例如增强现实（AR）头戴式显示设备，能提供客户更好的设计优势，光源上通过光纤耦合的激光，将得以实现更轻巧、微型化的近眼显示器。此外，微型化3D深度摄像头、无需对焦的微投影仪，以及虚拟交互式设备等也是受益的应用领域。
在先进驾驶辅助系统（ADAS）方面，激光雷达仍被认为是一种相当昂贵的汽车感测技术，早期“谷歌车”顶激光雷达传感器估计有相当于一辆小型车的价格。虽然在过去几年其价格水平已显著降低，但是离大规模商业化应用还有一段路程。滨松的MEMS微镜技术将有助于使激光雷达真正满足汽车制造商的量产需求，这是因为：传统上，激光雷达需要高精度的机械反射镜系统来偏转、聚焦和引导激光束。而基于MEMS微镜的激光雷达大大减小了激光雷达的体积和重量，而且结构简单、成本较低。
为了让客户更加方便快捷地导入MEMS微镜产品，在即将到来的慕尼黑（上海）电子展会现场，滨松还准备了线性激光扫描评估板（由五湖智联公司提供技术支持）。该评估板模块主要有：光路设计参考、扫描镜工作原理与电路（包含驱动与反馈电路参考），其功能与特点如下所示：
（1）MEMS微镜的扫描频率调整
（2）MEMS微镜工作振幅调整
（3）工作温度与频率显示
（4）USB供电（或通讯），低功耗
（5）支持二次开发和编程
（6）设计简洁、易于操作
基于MEMS微镜的线性激光扫描评估板
滨松将在2017年慕尼黑（上海）电子展上展示MEMS微镜S12237-03P，并将现场演示线性激光扫描评估板，欢迎业界朋友莅临N1馆1400展位交流探讨。
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