油封式机械真空泵按结构型式可分为定片式、旋片式和滑阀式三种。他们都是利用真空泵油来润滑、密封和降温;都是靠转子在泵壳内运动使转子、叶片、泵壳之间的容积周期性变化,以达到抽气和排气的目的。
一、定片式真空泵
其结构简单且使用寿命长,检修容易,双级泵的极限真空度可达10–3Torr,但抽速较小,应用很少。
二、旋片式真空泵
分为单级旋片式真空泵(由定子、旋片、转子等组成,只有一个工作室)和双级旋片式真空泵(它由两个工作室组成,两室前后串联,同向等速旋转,Ⅰ室为Ⅱ室的前级)。
三、滑阀式真空泵
主要由泵体及内部做偏心转动的滑阀部件、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成。
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