半导体制程生产中会用到大量的有毒腐蚀性易燃的特殊气体、化学品和有机溶剂等原材料，这些物质所产生的废气在冗长的排气过程中，因其气体性质可能会引发风管堵塞、管路腐蚀等，导致气体泄漏、火灾爆炸等事故，所以应先在就近的小型尾气处理设备（Local Scrubber）进行处理，后再进入中央处理系统处理。

小型尾气处理设备（Local Scrubber）根据处理废气方式，大致分四类：水洗式、氧化式、吸附式和等离子燃烧式，今天给大家介绍的是吸附式尾气处理设备，和该设备中设计、结构和功能上的“安全”。

半导体吸附式尾气处理设备

吸附式尾气处理设备设计上：

1.小型尾气处理设备（Local Scrubber）设计初衷是为了查漏补缺和应急使用，保护环境和人员安全。

2.以吸附桶完全处理设备尾气，确保尾气处理的安全性处理过程中没有危害；

3.在无尘室内不产生火源，没有明火，可以减少事故的发生；

吸附式尾气处理设备结构上：

半导体吸附式尾气处理设备

1.PLC 触控面板设计和人机接口控制系统，可实现设备安全有效的运行。

2.全面监控：各管路进、出口设计压力、温度、CDA流量、N2流量传感器，针对设备运行时各种状况，随时监控，避免泄漏等事故的发生。

3.尾气出口处：安装变频风机，可根据进出口压力，调整风机转速，避免废气回流，保护系统及设备安全。

4.指示剂：配备PH3, AsH3气体监控变色球指示剂，替代传统电化学计。

尾气处理设备功能中：

半导体制造生产的废气对环境或人体皆具有一定的危害性，必须防止其直接排放大气中，所以一般半导体厂都会加装大型中央废气处理系统。但由于工作区域多半离中央废气处理系统远，常因气体特性导致管路中结晶或粉尘堆积造成管路堵塞后导致气体泄漏，严重者甚至引起爆炸，无法确保现场工作人员之工作安全。因此在工作区域需配置适合工艺气体特性的小型尾气处理设备(Local Scrubber)，以减少在工作区域滯留的废气确保人员安全。

半导体吸附式尾气处理设备

以上，便是关于吸附式尾气处理设备中设计理念、结构组成和功能作用上的“安全”介绍，今天就到这了，感谢您的阅读！

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