针对上述问题,美国休斯敦大学(University of Houston)的余存江(Cunjiang Yu)教授课题组联合威斯康星大学麦迪逊分校 (University of Wisconsin-Madison)的马振强(Zhenqiang Ma)教授课题组以及科罗拉多大学波尔德分校 (University of Colorado, Boulder)的肖建亮 (Jianliang Xiao)教授课题组,近期以“Curvy, shape-adaptive imagers based on printed optoelectronic pixels with a kirigami design”为题在Nature Electronics上报道了一种同时具有高填充系数和可变形焦平面的曲面成像传感器。 研究人员使用微纳加工及转印技术将超薄硅光电传感器阵列集成在一个可双向拉伸的剪纸结构中,并基于余存江教授课题组课题组之前报道的(conformal additive stamp - CAS printing)保形增材印章打印技术(Nature Electronics, 2, 471–479, 2019.),将成像传感器阵列转移到任意的凸面或凹面上。此传感器阵列在不拉伸的情况下具有78%的填充系数,远高于其他同类型的工作,并且可以在双向拉伸30%的情况下保持其光电性能。
图1:可双向拉伸的折纸结构及通过保形增材印章印刷技术制造三维曲面器件 研究人员对SOI晶圆通过微纳加工及转印技术制造了一个32*32的超薄硅光电传感器阵列,器件由多层的硅,金属及聚酰亚胺构成,最终厚度约为5微米。每一个像素由两个独立的P-N结二极管构成,其中一个作为光电二极管来探测光强,另外一个二极管作为阻流二极管防止电流反向流动实现多通道信号采集。此器件在双向拉伸30%的情况下仍可以保持优异的光电性能,且超薄传感器可以被转印到各种三维物体的表面。 同时,研究人员使用保形增材印章印刷技术(conformal additive stamp - CAS printing)将传感器阵列转印到三维曲面上,并通过一个具有单个平凸透镜的光学系统在凹半球面上展示了该传感器的成像能力。由于曲面的传感器可以与平凸透镜弯曲的焦平面相匹配,所形成的像具有较低的像差。
Zhoulyu Rao, Yuntao Lu, Zhengwei Li, Kyoseung Sim, Zhenqiang Ma, Jianliang Xiao, and Cunjiang Yu*, Curvy, shape-adaptive imagers based on printed optoelectronic pixels with a kirigami design, Nature Electronics, 2021. DOI: 10.1038/s41928-021-00600-1 论文链接:https://www.nature.com/articles/s41928-021-00600-1 余存江教授简介:余老师现为美国休斯敦大学机械工程系Bill Cook副教授,并兼任于电子与计算机工程,生物医学工程以及材料科学与工程。获得Society of Engineering Science Young Investigator Medal, NIH NIBIB Trailblazer Award, ONR Young Investigator Award, NSF CAREER Award, MIT Technology Review Chinese Top Innovators (Inaugural), SME Outstanding Young Manufacturing Engineer Award, AVS Young Investigator Award等等。课题组目前主要做flexible and stretchable electronics, bioelectronics方面的研究。课题组网页:http://yu.me.uh.edu/