压觉传感器可用各种压力传感器如压阻效应、压电效应，或半导体力敏器件与信号处理电路制成在一起，构成集成亚敏传感器。一种用半导体技术制成的高密度智能压觉传感器，它是一种很有发展前途的压觉传感器。其中压阻式和电容式使用最多。特别是硅电容压觉传感器得到广泛应用。硅电容压觉传感器，单元电容两个电极分别用局部蚀刻的硅藻膜和玻璃板上被金属的极板组成。采用静电作用吧贵基片黏贴在玻璃衬底上，用二氧化硅作电容极板与基片间的绝缘膜，将每行上的电容板连接起来，但行与行之间是绝缘的。行导线在槽里垂直地穿过硅片；金属列线水平低分布在硅片槽下的玻璃板上，在单元区域扩展成电容电极，这样就形成一个X-Y平面的电容阵列。阵列上覆盖有带孔的保护盖板，盖板上有一块带孔的表面覆盖有薄膜层的垫片，垫片上开有槽沟，以减少局部作用力的图像扩展。盖板与垫片的孔相连通，在孔中填满传递力的物质，如硅胶。其灵敏度取决于硅膜片厚度和极板的几何尺寸。 

读出系统实现了压觉传感器阵列的接口、控制和信号输出的作用。 

接近觉传感器是检测对象物体与传感器距离信息的一种传感器。利用距离信息测出对象物体的表面状态。接近绝传感器是视觉传感器功能的一部分，但它只给出距离信息。接近觉传感器有电磁感应式、光电式、电容式、气压式、超声波和微波式多种。实际使用需要根据对象物体性质而定。例如，金属型的对象物体一般采用电磁感应式穿管器，而塑料、木质器物等可采用光电式、超声波式和微波式等传感器。 

利用发光元件和感光元件的光轴橡胶而成的光电接近视觉传感器。当对象物体处于光轴交点时，反射光量出现峰值，即接收信号最强，利用这一特点可以测定对象物体的位置。 

滑觉传感器是用于检测物体接触面之间的相对运动大小和方向的传感器，如机器人的手抓，就是利用滑觉传感器判断是否握住物体，以及因该使用多大的力等。