Metal mes流程示意
(1)评估阶段
提供给IC《 Metal Mesh Design Rule 》
向客户索要《Metal mesh立项需求表》中的信息及物料
按照《Metal mesh开案需求RD协助项目》给出Layout
选定网格
(2)现有moire判定操作规范:
小距离观察,距离30cm,左右角度45°,上下角度30°
大距离观察,距离60cm,左右角度45°,上下角度30°
(3)确认开案
开案导入会,会签《Metal mesh check list-会签档》
(4)制图
制图过程严格按照《Metal mesh设计流程与规范》
(5)图纸发出,回传确认
严格按照《Metal mesh check list-Sensor check list》检查图纸
(6)追踪模具深宽比
追踪模具品质:《品质追踪表》
模具编号、深宽比等
(7)最终样品信息追踪
追踪最终样品品质:《品质追踪表》
线宽,透过率,雾度,L、a、b值,网格是否可见,有无Moire。
完善《Optical design text》、《制版纪录》、《项目文件信息》
Metal Mesh Design Rule
2.需客户提供
2pcs可以点亮背光的LCD
TP与LCD的贴合示意图纸
LCD点亮治具
3.Metal mesh layout设计需求(IC+RD)确认chip及排版图
VA区Pattern最窄导通宽度﹥1.2mm:具体视网格来定:要求导通结点最少4个一般在1.6mm左右
ITO悬浮块确认,填充前要与确认悬浮块是否OK。
走线宽度>50um,走线间距>50um;绘图走线必须为闭合曲线,不要有重叠走线 。如超出规格需与PM召开评估会议。
在空间允许的情况下拐角需要做圆滑处理。拐角最大角度为30度
若为单通道,VA区Pattern终端需添加测试PAD。测试PAD为宽度1.0mm矩形框,长度要最少2.5mm,如无法达到要与张学颖确认,保证测试探针能扎到PAD。
若为无引线方案(metal mesh只负责制作VA区),走线搭接pad宽度>0.3mm。
Pin脚末端添加引出线和测试靶标,将测试针点图套上确认是否有偏移
排版幅面为400mm*568mm,两单模之间间距尽量小
4.选定网格
(1)网格选择必要条件
单层相对透过率T>97%;
TP成品理论预估透过率〉=85.5%;
导通节点数维稳在4到5个;
网格可选角度范围必须大于等于4°,即至少需要2°的角度旋转偏移容
(2)网格选取流程图
若PPI>150建议采用ITO+MM方案。
(3)为优化制图及检查,统一图层命名规则
(4)VA区:导通区域填充连续网格(网格类型由光学设计工程师提供)。其余区域填充断开的网格用于配色,网格类型要与连续网格一致,且无缝对接(即网格无错位)。配色方案分为A、B两种,如下图所示。
ps:当填充断开网格的区域宽度很小时(填充的断开网格直接和连续网格相接,以致上下导通),需要保留6um空隙,采用A方案,如果是菱形Pattern, 需保留10um空隙当填充断开网格的区域宽度较大,能确保上下不导通时,采用B方案。目前优先A方案
(4)引出线内均填充连续的小网格,网格类型同引线区域。注意:引线和引出线连接区域网格要无缝对接。
(5)靶标(包括测试靶标)及文字内填充旋转45°边长为11.5um的正方网格。
(6) Pattern与引线PAD导通部分:通过保留局部边框来导通,且注意要用直线条进行过渡处理。如下图所示:
(7)Mold cut尺寸:十字mark 495mm*629.1mm;PET Cut mark: 4个ɸ3的圆,一侧相距300mm, 另一侧相距260mm十字长度延伸到离胶板边沿5mm处,宽度0.1mm,内填旋转45°边长为11.5um的正方网格。只要胶板不变, Mold cut尺寸不变。
(8)屏蔽区和引线重叠部分:如右图所示,引线网格与屏蔽区连接处保留边框,一般先与RD确认是否可删除屏蔽区。
(8)完成《纳米银 Metal Mesh Sensor 设计 Check List》
转档并检查
(1)如果是打样的机种,转档成dxf格式,上传到共享服务器,填写信息传递表给光刻部门,同时备份gds档案。
(2)外发其它厂商用dwg格式,厂商传回转档后再进行一次检查
( 3 ) 量产机种的图案目前都用gds档案上传到服务器
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