洁净厂房广泛用于电子、生物医药、精细化工、精密机械、食品、化妆品等产品的生产中，不同产品的生产过程中，对所用高纯度气体的品种、纯度，以及气体中允许的杂质浓度或气体的品质要求差异很大。例如半导体工业，所用气体品种多，要求特别严格。
洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道，其具体的安装要求可参考《洁净室施工及验收规范》(JGJ 71-1990)的有关规定。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的气体。
高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道，稍有疏忽便可能破坏气体的质量。因此，要理解安装气体质量的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求，工作严肃认真、一丝不苟，高度重视各个细小环节，建成符合要求的管路系统。要求做到以下几个方面:
1.外观的检查工作
(1)管道系统的管材、阀门及所有附件，严格设计要求选用，不得随意更改或代换。
(2)所有管材应放在室内精心保管，不得露天堆放、日晒和雨淋。
(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封，不得脱落、破裂。
(4)管子、管件、阀门等使用前，详细进行外观检查。
2.配管的准备工作
(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。
(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。
(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在三氯乙烯或四氯化碳溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。
(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。
(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。
(6)氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。
3.金属管道的连接
(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:a低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。b铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如砷化镓的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜制管路及其附件，只能使用不锈钢材料。
(2)连接方式:
a焊接。高纯、高洁净气体管道，原则上采用焊接，但不能直接对焊，应采用套管接头。
b螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好，不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险，而且内外螺纹旋紧时，金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子，污染气体。
c法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯乙烯，为确保密封效果，在垫片上涂敷少量氟橡胶。
(3)管路附件的使用:
管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。在采用铜材的管路系统中，可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中，不容使用铜制材料的管道附件。
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