希望我的解答能对你有帮助!
首先这要看你的
等离子体是属于什么类型的等离子体?
依据等离子体中的重
粒子温度,可以把等离子体分为两大类,热等离子体和冷等离子体。
热等离子体中,重粒子温度为3×103 K-3×104 K,
基本上达到了
热力学平衡,所以具有统一的
热力学温度,可以用
热力学平衡状态的
麦克斯韦速度分布、波尔兹曼粒子能态
几率分布和沙哈方程等确定等离子体的状态和
参数,例如
电弧等离子体、高频等离子体即属于热等离子体。由于热等离子体的高能量
密度,目前主要将其用于材料合成、球化、致密以及保护性
涂层的沉积。
冷等离子体中重粒子温度只有
室温左右,而
电子温度可达上万度,所以远离热力学平衡状态,如
辉光放电就属于冷等离子体。冷等离子体主要用于等离子体刻蚀、沉积以及等离子体
表面修饰。
本站仅提供存储服务,所有内容均由用户发布,如发现有害或侵权内容,请
点击举报。