装料
拆料、装炉:
1.取出晶体及残余剩料;
2.打扫上一炉拉晶过程中附着到热场部件与炉体管道上的挥发物,保证炉体清洁
装料:
1.员工着无尘净化服,在净化车间作业;
2.将原料装入高纯石英坩埚中。
第一步:装料
第二步:化料
化料
装料完成后,合炉进行抽空,检测设备真空机泄漏率;
检漏合格后,充入保护气体(Ar),达到工艺要求的压力后开始加热熔料。
稳温
化料完成后,稳定到合适的引晶温度,使籽晶与溶体熔接,开始引晶
第三步:稳温
第四步:引晶
引晶
引晶的目的是排除固液接触时产生的位错
扩肩
放肩:引晶完成后,需按照设定的工艺参数将直径放大到所需的晶体直径
转肩:晶体直径达到规定要求后,调节拉速和温度,进行转肩,晶体进入等直径生长
第五步:扩肩
第六步:等径保持
等径
保持
达到规定直径后转肩自动进入等径阶段。单晶生长过程中的直径控制主要是通过控制晶棒的拉速和炉内熔体的温度来实现
收尾
1.随着晶体生长,坩埚中熔硅将不断减少,剩料到达一定重量时,通过工艺控制,使晶体直径变小,即为收尾。
2.收尾的目的主要是通过减少提拉断事的热冲击来减少晶体脱离液面时产生的位错。
第七步:收尾
OVER,新鲜单晶硅棒出炉!
(中环股份高效单晶硅棒)
单晶方棒
硅棒还可以变身成这样
单晶硅片
中环股份早在1981年便从事太阳能单晶硅的研发和生产,是国内最早从事太阳能单晶硅生产的企业之一。
中环股份光伏单晶硅研发水平全球领先,先后开发了具有自主知识产权的高效N型太阳能硅片,光电转换效率超过24%;CFZ太阳能硅片转换效率达到26%并实现“零衰减”;单晶晶体晶片的综合实力、整体产销规模位列全球前列,高效N型太阳能硅片市场占有率全球第一。
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