非线性度

在给定的频率和幅值范围内，输出量与输入量成正比时，称为线性变化。实际传感器的校准结果与线性变化偏离的程度，称为该传感器的非线性度。

在由最小值到最大值的传感器动态范围内，逐渐增大输入的机械振动量，同时测量传感器输出幅值的变化，便可测定传感器的输出值与线性输出值的偏差量。在使用正弦振动发生器进行测定时，可在传感器的工作频率范围内选定几个频率进行，以覆盖传感器整个动态范围。

一般在传感器动态范围的上限附近传感器的输出值与线性值的偏差量最大。所允许的偏差量取决于具体测量的要求。

压电加速度计的灵敏度能保持为常数的加速度输入范围称之为幅值线性范围。理论上讲幅值线性范围的下限应当为零，实际上它决定于阻抗匹配电路的噪声电平。而上限则取决于压电元件的非线性响应，或整个加速度计的易碎性。压电加速度计的灵敏度随加速度的增加而增加。恩德福克公司习惯用灵敏度上升1%时的g值来表示幅值线性度，同时也给出最大的推荐加速度值或可用于测量的加速度值。

通常用在某一加速度范围内灵敏度变化的百分数来表征幅值非线性度，例如：在0~20 000 g范围内，每1000 g，0.5%。另外请注意，目前所用的大多数加速度计校准系统的校准不确定度为2%或更大，而压电加速度计的非线性度在满量程内只有1%或更小。

集成电路压电加速度计在满量程内幅度非线性度的上限一般为1%，下限则决定于所选用的内装电路。

所选用的幅值非线性度范围因具体的应用不同而不同。对于振动测量，一般为1%，而对冲击测量，则为4%。当然可以根据具体的工程技术项目的要求，提高或放松对它的要求。

恩德福克公司利用振动和冲击两种方法来评价压电加速度计的非线性度和可以用于测量的动态范围。应用共振梁或共振棒的振动法可以在100 Hz到3000 Hz内分别达到100 g 到2000 g。应用冲击机实现的冲击法可以用在1000 g到100 000 g或更高的范围内。