一、蚀刻的目的:
将抗镀干膜所覆盖的非电镀加厚铜面蚀除,形成客户所需的线路图形。
二、碱性氯化铜蚀刻的原理:
1. 在CuCl2溶液中加入NH3·H2O发生络合反应
CuCl2+4NH3→Cu(NH3)4Cl2
2. 在蚀刻过程中,板面上的铜被[Cu(NH3)4]2+络离子氧化
Cu(NH3)2Cl2+Cu→2Cu(NH3)2Cl
3. 生成的[Cu(NH3)2]1+为Cu1+的络离子不具有蚀刻能力,在过量的NH3和Cl-情况下,能很快的被空气中的O2所氧化,生成具有蚀刻能力的[Cu(NH3)4]2+络离子
2Cu(NH3)2Cl+1/2O2+2NH3+2NH4Cl→2Cu(NH3)4Cl2+H2O
从以上反应可看出,每蚀刻1克分子铜需消耗2克分子氯和2克分子氯化铵。
三、碱性氯化铜蚀刻特性:
1. 适用于图形电镀金属抗蚀层,如镀覆金、镍、锡铅含金、锡镍含金及锡的印制板的蚀刻。
2. 蚀刻速率快,侧蚀小,溶铜能力高,蚀刻速率容易控制。
3. 蚀刻液可以连续再生循环使用,成本低。
四、工艺流程:
镀覆金属抗蚀层的印制板(Au、Ni、SnPb、SnNi)→去膜→水洗→吹干→检查修板→碱性蚀刻→用不含Cu2+的子液二次蚀刻→水洗→检查→孔处理→褪锡铅→水洗→吹干
五、工艺简介:
1. 褪膜:目的将抗镀干(湿)膜退除,露出待蚀铜面。
主要操作参数:KOH:2.5-3.5%;T:47±3℃;苯骈三氨唑:0.5g/l
2. 蚀刻:将褪膜后露出的铜面蚀除,形成客户所需的线路图形。
主要操作参数:Cu2+:115-135g/l;Cl-:4.3-4.9N;PH:7.8-8.4;SG:1.165-1.185;T:45-50℃
3. 孔处理:使用硫化物将NPTH上的Pd毒化或去除,使Pd失去活化能力。
主要操作参数:[H]:0.4-0.6N;除钯盐:25-35g/l
4. 褪锡铅:将抗蚀刻的锡或锡含金褪除露所需的铜面。
主要操作参数:SG:1.20-1.40;T:25-40℃
六、蚀板首板的制作:
1. 按照生产编号查询MI的要求如:线粗/线隙、阻抗、底铜厚及其它特别要求。
2. 根据底铜厚度设定速度和压力。
3. 根据印制板布线情况,决定放板方式。
4. 制作首板并对首板进行测量。
5. 当首板测量可以满足MI则可进行量产,否则重新调整压力、速度制作首板。