多级爪型真空泵的工作原理

多级爪型真空泵如图3所示,它采用了形状复杂的爪型转子。这种泵也类似罗茨泵型式,两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积,吸气口和排气口是固定在上下端盖的侧面上,由转子旋转过程中自动开关。

图3　爪型泵的工作原理

沿轴向逆流少,如图4所示。因此在高压区它的压缩比,比罗茨泵的压缩比高,如图5所示。

图5　罗茨泵和爪型泵的压缩比的比较

由于这种泵的吸气口和排气口安置在泵腔的侧壁上,多级连接起来很方便,气道流畅,泵内腔压力变化平缓,有利于防止可凝性气体的凝结。为了防止可凝性气体在泵内的凝结,也要向泵腔内通净化气体。这种爪型泵极限压力为1～10Pa, 抽速为100～180m³/h,有2～4级串联的系列产品出售。

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