【中银杨绍辉】半导体设备行业2022年投资策略（第三部分）：国内主要半导体设备企业的核心技术、产品及...

技术创新：中微公司拥有全球独特的刻蚀设备双反应台高产率设计；盛美上海拥有全球首创的SAPS及TEBO兆声波清洗、Tahoe单片槽式组合清洗技术；凯世通拥有离子注入通用平台加模块化设计等，表明半导体设备国产商在突破技术的同时，也积极造就技术护城河，保障安全成长。