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2020.03.02
本期【精华文章】会介绍等离子体刻蚀。等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。下面,是关于等离子体刻蚀的相关介绍。
本文是光刻人的世界原创作品,转载请注明出处。
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