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砷化镓铟微光显微镜(InGaAs)
Long_龙1993
>《FA》
2020.09.21
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砷化镓铟微光显微镜(InGaAs)与微光显微镜(EMMI)其侦测原理相同,都是用来侦测故障点定位,寻找亮点、热点(Hot Spot)的工具,其原理都是侦测电子-电洞结合与热载子所激发出的光子。差别在于InGaAs可侦测的波长较长,范围约在900nm到1600nm之间,等同于红外线的波长区 (EMMI则是在350nm-1100nm)。
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