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激光束电阻异常侦测(OBIRCH)
Long_龙1993
>《FA》
2020.09.21
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激光束电阻异常侦测(Optical Beam Induced Resistance Change,以下简称OBIRCH),以雷射光在芯片表面(正面或背面) 进行扫描,在芯片功能测试期间,OBIRCH 利用雷射扫瞄芯片内部连接位置,并产生温度梯度,藉此产生阻值变化,并经由阻值变化的比对,定位出芯片Hot Spot(亮点、热点)缺陷位置。
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