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TSMC 40nm工艺使用笔记(i)

1、MOS管的Vth和gate面积有关。使用短finger,多个并联可以有效降低Vth。

exp:length=200n,width=1u,number of fingers=1,m=1 Vth=402mV

length=200n,width=250n,number of fingers=4,m=1 Vth=394mV

原因猜想:gate面积越大,反型层下方积累电荷越多。

2、MOS管饱和区定义:width变短后,一般而言Vds=Vov已无法满足保护条件。此时工作情况仍接近线性区。

exp:length=200n,Vth=402mV,Vgs=452mV(Vov=50mv)仿真得Vds=50mV处,gds=900uS,Vds=100mV处,gds=60us,Vds=150mV,gds=20us。

即对于短沟道的管子,若Vov较小,一般都要求Vgs>100mV才能近似保护区的特性

3、bias的产生:采用同种工艺的管子,设置相同的宽度和长度,可以最大程度地抵消温度变化,得到比较理想的温度特性。

4、三种Vth的定义:对于短沟道,三种Vth的定义存在很大不同。

No1、取管子工作于饱和区,加大Vgs,得到ids对Vgs曲线,取跨导最大点延长线与横轴相交点,定义此交点为Vth

No2、取管子工作于线性区,加大Vgs,同上取交点,根据线性区电流计算近似模型,减去二分之一Vds后得到交点为Vth

No3、定义漏电流大小为0.1u*(W/L),取管子工作于线性区,产生上述大小漏电流时对应的Vgs即为Vth

前两种是根据物理模型得到的定义,用以刻画管子不同工作区的特性。最后一种是纯粹的工程定义,衡量管子夹断的能力。

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更新 2018/12/10

跑lvs时注意在calibre lvs选项卡下options中设置电源/地 容易因为多个电源存在无法识别的问题

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更新 2019/4/12 高频layout的注意事项

1、高频工作的管子,w/l不能过大。由于高频下习惯采用最小尺寸(此工艺下l=40nm)以获得最高的特征频率,此时要注意栅极poly电阻的影响,因而不能让管子变得非常细长。建议W/L<10,即栅宽400nm以下。若栅宽无法变短,可以两边打contact引出。但仍然注意W/L<20~30。即栅宽尽量不要超过1u。

2、过孔。由于射频信号经常走高层(M4以上)。所以接入有源区需要从高层到OD的Via。注意不能让两个不同信号的VIA靠的太近。因为金属层有厚度。靠的太近的VIA相当于叉指电容。其寄生会非常严重。

3、栅层上方走线:对于低频的信号(特别是使能、偏置之类的直流信号),完全可以跨栅极上方走线。但高频信号是一定要避开栅极上方走线的。

4、关于45°:除了走大电流的信号,其他地方并没有特别大的必要。PCB上习惯与“化直为钝”,即所有有尖锐转折的地方都砍成45°,主要目的一个是减少天线发射,一个是保持特征阻抗。但layout里面没有特别大的差异。(对于1um以下的线宽,走直角还是135°并不起决定性作用)

5、电容保护环:出于面积考虑,近来工艺大多都取消了cfmom(平板电容)而只提供crtmom(叉指电容)。叉指电容中,侧壁电容占重要比重。所有要注意两个叉指电容直接距离拉开。另外,电容的guardring优先考虑Nwell。因Nwell可以实现一层隔离而减少衬底寄生和噪声。(特殊情况下Nwell可以浮空)

6、高频的布局适当需要拉开,而避免靠的太紧太密。这种情况下,传统的共质心匹配等已经没有太大意义。既然如此,交叉对称布局就未必是必要的。相反,保持信号线走向清晰、相对隔离才是首要的考虑。

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