PZT薄膜，锆钛酸铅薄膜，Pt-Si上面的PZT薄膜

PZT薄膜

PZT薄膜

PZT压电薄膜

锆钛酸铅薄膜

钙钛矿相PZT薄膜

硅基PZT薄膜

Pt-Si上面的PZT薄膜

PZT压电薄膜

镀PZT薄膜膜硅片、SOI片，规格可满足4寸、6寸、8寸。

PZT镀膜产品，具有成膜温度低、成膜速率快、成膜均匀性好、压电系数高、疲劳特性好等特点，广泛应用于MEMS传感器件，在压电超声波传感器、压电换能器、压电执行器中得到越来越多的应用，是下一代传感器件的优良材料。

 

同时我们可根据客户的需求，定制SOI基片各层厚度及PZT成膜厚度，可进行批量加工。

用途：仅用于科研

类别：铁电薄膜

相关薄膜：

ZnO/SiO2复合薄膜

SiO2/Si衬底制备ZnO薄膜

Ge/ZnO/SiO2薄膜

钠钙玻璃基底ZnO薄膜

Ti/Pt/ZnO复合薄膜

Ti/ZnO/Pt 复合薄膜

Pt/Ti/ZnO复合薄膜