原籍江苏太仓,1931年7月27日生于上海。材料科学家。中国科学院上海冶金研究所研究员。1952年毕业于西南交通大学(原北方交通大学唐山工学院)冶金工程系 学士,1958年获苏联莫斯科有色金属学院副博士学位。1991年当选为中国科学院院士(学部委员)。
1949年初,邹世昌从上海格致中学毕业后考入了由申新纱厂创办的中国纺织工学院(1999年更名为东华大学)学习,1950年,进入北方交通大学唐山工学院(现西南交通大学)冶金工程系学习。1952年,毕业后进入中国科学院上海冶金陶瓷研究所工作,担任研究实习员。
1953年,进入北京俄语专修学校学习,1954年,赴苏留学,前往莫斯科有色金属学院学习(至1958年),1958年,在前苏联莫斯科有色金属学院获副博士学位,之后回国进入中国科学院上海冶金研究所(2001年更改为中国科学院上海微系统与信息技术研究所)工作,先后担任助研、副研究员,室主任、大组长、研究员、所长。
1979年,任西德慕尼黑弗朗霍夫学会固体技术研究所客座教授(-1980年),1991年,当选为中国科学院学部委员(院士)。
研究方向:
60年代负责国防重点任务甲种分离膜加工成形部分工作,对技术路线进行优选决策。70年代以后在离子束与固体相互作用以及离子束材料改性、合成、加工和分析等方面进行了系统的研究工作。独创用二氧化碳激光背面辐照获得了离子注入损伤的增强退火效应。用全离子注入技术研制成中国第一块120门砷化镓门阵列电路,用反应离子束加工成中国第一批闪光全息光栅。研究SOI材料并制成CMOS/SOI电路。发展了离子束增强沉积技术并合成了氮化硅、氮化钛薄膜。
科研成果:
1)半导体离子注入:研究了离子注入硅的损伤及其退火行为,独创性地提出了用二氧化碳激光从背面照射对离子注入半导体进行退火及合金化的新方法,这项工作获中国科学院1982年重大科技成果二等奖。研究了用双离子注入的办法在磷化铟中得到了最高的载流子浓度及掺杂电激活率,并用全离子注入技术率先研制出国内第一块120门砷化镓门阵列电路和高速分频器,获中国科学院1990年科技进步奖一等奖。
SOI技术:对SOI技术进行了系统的研究,用离子注入和激光再结晶方法合成了SOI新材料。解决了激光再结晶SOI 材料适于制作电路的表面质量问题,获得一项发明专利。在深入分析SOI材料光学效应的基础上,提出了一套非破坏性的表征技术,进而研制成功新型的CMOS/SOI电路。该项目获中国科学院1990年自然科学奖二等奖。
2)离子束微细加工:研究了低能离子束轰击材料表面引起的溅射、损伤和貌相变化等物理现象,并用反应离子束微细加工在石英基片上刻蚀出中国第一批实用闪耀全息光栅,闪耀角可控,工艺重复稳定,衍射效率大为提高,这是光栅制造技术的重大突破,获中国科学院1987年科技进步二等奖与1989年国家科技进步奖三等奖。
3)离子束增强沉积:负责国家“863高技术材料领域材料表面优化”专题,建立并掌握了可控、可预置和可重复的离子束增强沉积技术,合成了与基体有很强粘附力,低摩擦系数和高耐磨性的氮化硅、氮化钛薄膜。
本文选自 2017年08月22日《澎湃新闻》,原文题目是:”上海书展|对话院士:科普比科研简单,但科研兴趣要从小培养“
人们或许说不出芯片的概念,但知道一个指甲盖大小的集成电路芯片里有一个复杂的电子系统,它可能会记录人们乘坐公交车的信息,也可能记录一次参加大会的信息,甚至可能记录所有的身份信息。
芯片可以用在哪些方面?芯片是怎么做出来的?做芯片要学哪些知识......当这些好奇问题出自童言无忌的小朋友,答案出自德高望重的中国院士,一系列科普活动拉开序幕。2015年,来自SMG东方广播中心的“创新之问·小学生对话中国院士”系列广播节目受到市民欢迎,而今这档节目衍生出一套中小学科普读物《与中国院士对话》丛书。
8月21日,《与中国院士对话》新书首发式在2017上海书展举行。中国集成电路专家邹世昌,物理学家褚君浩、遗传生物学家贺林三位中国科学院院士出席该首发式。今年86岁高龄的邹世昌院士还接受了澎湃新闻记者专访。
邹世昌毕业于唐山交大材料学。毕业时他赶上了国家第一个五年计划,曾被派去苏联学习,也曾参与“两弹一星”研制,在20世纪70年代以后完全投身于半导体科研。
交通卡、银行卡、手机、智能电饭煲......在邹世昌眼中,老百姓的衣食住行都离不开半导体、芯片。他告诉澎湃新闻记者:“我国每年的集成电路消耗是非常大的,大概有两千亿美金。全世界就三千亿美金。也就是说我国是全球最大的集成电路市场,占到全球市场份额的近三分之二。”
“我们集成电路芯片的进口额已经超过了石油。但问题在于,这两千亿美金里,真正是我们自己做的20%都不到,大部分是进口的。”
他甚至直言,我们还不是一个“电子制造大国”,目前只能说是“电子组装大国”,因为我们所使用的电子产品的关键部分都不是中国制造。他不止一次强调:“一个电子系统的核心是什么?就是两样东西,一个是硬件即集成电路,一个就是软件。而现在,集成电路的关键部分是从国外进口的。我们做的是把国外的组件组合装配,有的产品说得难听一点,是贴个牌子就完事了。这种状态是很危险的。”
8月21日,《与中国院士对话》新书首发式在2017上海书展举行。中国集成电路专家邹世昌,物理学家褚君浩、遗传生物学家贺林三位中国科学院院士出席该首发式。
“其实,我国的半导体研究起步不晚,从1965年就开始了。”邹世昌回忆,那一年他们上海冶金研究所和上海元件五厂一起做出了上海第一块集成电路。“这个时间点在世界算比较早的,日本也差不多是这个时间搞出来(集成电路),韩国、新加坡都还没有。”
然而,1995年邹世昌去新加坡,发现那里的半导体产业已经比我国强得多,就连马来西亚的半导体产业也强于我国。
“技术是一方面因素,另外一个原因是我们国家的工业基础现在还不行。做集成电路还要材料、要设备,但我们的材料多是进口的,设备也是。现在除了北京、上海,无锡、武汉、成都、重庆等地都建有集成电路工厂,工厂的主要投资都用在设备上。”
但邹世昌也欣慰国家越来越看到芯片的重要性。1997年,他参与筹建了我国第一条8英寸集成电路生产线。
他表示,自己搞了几十年的半导体科研,梦想就是看到中国集成电路作为一个规模产业被建立发展。“集成电路的研究与制造水平,综合反映了一个国家的科技和经济实力。如果没有掌握这种技术,说明我们还没有掌握信息产业的核心技术。”
“对集成电路产业这么关键的东西,不自主研发,一个国家是很难的。当然我很高兴看到这几年国家经济越来越好,落后的面貌在改变。只是我们还有很长的路要走。”
《与中国院士对话》也正是出于“还有很长的路要走”,邹世昌在科研之余,也投入了不少精力在科普上,还曾获得上海科普教育创新奖“科普贡献奖”。
“怎么把集成电路产业建立起来,是好几代科研人的梦想。到我这代,总算看到国家把这个产业建起来了,但还需自主发展。要想发展起来,当然要建厂、建设备,更关键的是人啊,是队伍。那这个队伍就要靠年轻人来,我们这批人到八十几的年龄要做不动了。所以要靠更多大学生,甚至从中小学生开始培养兴趣,来接这个班。”
邹世昌笑言,在内容上,科普确实比科研简单,因为要让孩子们可以接受,可以理解。但是要把科学知识都用浅显易懂的话语来解释也非易事。每次和这些中小学生一起交流,他总能听到很多奇怪的有趣的问题,也更相信这样交流是有意义的。
“平常我们主要精力是在科研,但也会想怎么让年轻人接上来。起码让他们有好奇,让这个事业传承下去。”
据悉,由华东师范大学出版社出版的《与中国院士对话》除了聚焦芯片,还请了八位院士在太阳能、基因、有机化学、风云卫星、红外遥感、北斗定位系统、天文、脑科学九个方面与孩子们进行对话,为他们讲解基础的科学知识。
【选摘者简介】杨立军,1984年获浙江工业大学(原浙江工学院)电子工程学士,1987年在西南交通大学经管系获取硕士学位,毕业后留校任教、做科研。1993年赴美留学,在纽约市的福坦莫大学(Fordham University)读社会学硕士。1995年取得学位后,在华尔街做编程工作,后承接开发密西根、德克萨斯州政府的项目,现从事电子商务方面的事业,也负责休斯顿上海、西安、西南、北京、新竹五校联合交大校友会的工作。现居住在美国休斯顿郊区。
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