MEMS微镜是主要应用于光通讯、投影成像、光学扫描等领域的一类光学执行器件，按驱动镜面转动的不同机理，主要包括静电、电磁、电热和压电四种类型。
其中，静电式微镜利用异性电荷间的库伦引力驱动镜面；电磁式微镜利用各种磁性材料与驱动电流产生的电磁力驱动镜面；电热式微镜利用材料热膨胀产生的结构变形实现镜面的驱动；压电式微镜通过外加电场引起压电材料产生机械形变的原理驱动镜面。
MEMS微镜属于微执行器的范畴，2022版协调制度也专门设置了列为“半导体基执行器”的子目，但应注意其实并非所有的MEMS微镜都能按半导体基执行器归入品目85.41——因为根据现有注释规定，半导体基片或材料必须在“半导体基执行器”的作用和性能中起到不可替代的关键作用。
换言之，在判断一款MEMS微镜可否归在品目85.41时，必须考虑半导体材料在驱动镜面转动过程中所起的具体作用。事实上，85.41品目注释“半导体基执行器”一项也只是列举了基于具有不同热膨胀性能之半导体基结构的电热式MEMS镜片。
然而，MEMS器件相较于一般的机电产品，其内部结构及工作原理往往并不直观，故注释对于半导体材料在换能器中所起作用的约束，很大程度上增加了该类商品在归类时属性认定的难度。同时，因协调制度列目范围与业界分类存在较大差异，亦或导致基于商品编码的统计数据失真，进而影响相关产业的分析研究与决策。尚不知相关注释规定的编制初衷与意图，待考。
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