众所周知,全球只有ASML和尼康两家能够制造浸润式光刻机。而一家只有ASML一家能够制造EUV光刻机。
为何造先进光刻机的厂商这么少,原因有很多,但非常有一个非常重要的原因,那就是先进光刻机的物镜系统太难了,全球只有德国蔡司拥有这个技术。
比如浸润式光刻机的物镜系统,全球就只有蔡司能够提供,尼康是因为得到了蔡司的帮助,才能够生产出浸润式光刻机,而佳能没有得到蔡司的元件,所以生产不出来。
至于EUV光刻机中的物镜系统,全球也只有蔡司一家能够提供,但蔡司的这个系统,不能卖给除ASML之外的任何一家厂商,所以全球也就只有ASML一家能够生产出EUV光刻机。
那么蔡司的物镜系统,究竟有多牛?蔡司是光学巨头,小到眼镜镜片,大到医学显微系统,蔡司都有涉猎,但光刻机这一块,有一家专门的半导体公司负责,叫做Zeiss SMT。
在EUV光刻机中,有两套光学系统,一部分用于照明系统,一部分为投影光学系统。
照明系统是干什么的?是极紫光线通过分面反射镜,然后在光罩上提供合适的照明度,别以为就是几盏灯的事情,这个物件高达1.5吨用,一共由1.5万多个元件组成。
而投影光学系统更复杂,用到了六个超精密的反射镜,可以实现nm级别的成像,这套系统重量超过2吨,一共由2万多个元件组成。
由于为要实现nm的影像,所以对反射镜的要求非常高,不能有丝毫的误差。
在EUV光刻机,这套投影光学系统中,用到的镜面叫做“布拉格反射器”,也被称之为“地球上最平整”的镜面。
究竟有多平?这个反射器的直径只有30厘米左右,但如果把它整体放大到整个云南省那么大,最厚的介质层也只有1毫米那么厚。
ASML与蔡司不仅仅是合作关系,2016年的时候,ASML出资10亿欧元,收购了蔡司半导体公司Zeiss SMT24.9%的股份,并承诺后续会持续投资,支持蔡司在半导体方面的研发,双方是绑定在一起的。
所以这也是为什么蔡司的物镜系统,并不对外销售的原因,要是蔡司的物镜系统能够大规模对外销售,估计全球也就不只ASML一家能够生产EUV光刻机了。
联系客服