管P N2O/SiH4流量比对应SiOx薄膜折射率&沉积速率关系

Aaron PV 笔记

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/ N2O/SiH4 流量比 vs SiOx 折射率 vs 沉积速率 /

注：数据仅供参考

典型成膜条件：

- PECVD， 40KHz 管式设备

- 温度：460，压力：170~240 Pa，功率：2~20 KW

- 流量SiH4/N2O:

- 1666/833 sccm 2/1

- 1250/1250 sccm 1/1

- 625/1875 sccm 1/3

- 460/2000 sccm 1/4.3

- 227/2272 sccm 1/10

- 178/2314 sccm 1/13

- 156/2344 sccm 1/15

- 80/2420 sccm 1/30