半导体湿法蚀刻PFA显影花篮耐强酸硅片承载器低本底PFA晶圆盒

PFA花篮

PFA花篮（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花蓝 ，特氟龙卡匣 ， 特氟龙晶舟盒 ，特氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器，耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，能做激光雕刻，能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。

  

主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮，进入化学酸、碱蚀刻制程中，可搭配PFA把手使用。

参数

名称	规格	耐温性	应用
PFA花篮 PP Cassette	2寸	-200~260℃	酸碱传输制程
	4寸
	6寸

特点

1.耐腐蚀：耐受强酸强碱

  2.搭配可活动把手，用于晶圆芯片清洗运输

3.耐高低温：-200~260℃

4.耐绝缘：介电性能与温度、频率无关；

5.防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb；