PFA花篮
PFA花篮(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花蓝 ,特氟龙卡匣 , 特氟龙晶舟盒 ,特氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器,耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱),能做激光雕刻,能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。
主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮,进入化学酸、碱蚀刻制程中,可搭配PFA把手使用。
参数
名称 | 规格 | 耐温性 | 应用 |
PFA花篮 PP Cassette | 2寸 | -200~260℃ | 酸碱传输制程 |
4寸 | |||
6寸 |
特点
1.耐腐蚀:耐受强酸强碱
2.搭配可活动把手,用于晶圆芯片清洗运输
3.耐高低温:-200~260℃
4.耐绝缘:介电性能与温度、频率无关;
5.防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb;
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