在版图的世界里,无论你是使用S家的还是C家的流程,大部分人在最后一道关口:物理验证上都会遇到M家(现在已经归于Simense帐下)的Calibre大神了,犹如守门员一样掌控着最后一道关口:
物理验证通常有两个简写
没有本质区别,只是习惯不同而已,所以在日常沟通的时候,如果一言不合,一定要再试试第二言哦。
物理验证:基于设计的GDS(Graphic Data System,目前是第二代GDS,一般也会写作GDSII,已经成为业界的标准格式了。GDS的第一版基本作古,现在的提到的GDS其实都是指的是GDSII了,目前的版权属于C家),使用RSF(Run-Set-File)的物理规则描述文件对GDS版图进行检查。常用的工具有Calibre、ICV等,比较老的工具有Hercules,Dracula等。如前述,目前比较通用就是Calibre了。随着先进工艺的不断演进,最近几年S家也开始追随工艺趋势在LV市场上发力,ICV(IC Validation)就是S家最近几年在先进工艺领域力推的physical signoff 工具。在过往常用的工艺里边,大部分的RSF都是基于Calibre的SVRF(Standard Verification Rule Format)、TVF(Tcl Verification Format)语法格式的,可见Calibre在业界悠久的影响力。
随着工艺节点的越来越小,芯片的GDS数据量越来越大,为了便于文件传输,产生了OASIS(Open Artwork System Interchange Standard)格式,文件更小传输更便捷,也是SEMI力推的下一代版图数据格式,用于替代已经服役30多年的GDS格式。
基于版图数据的特点,物理验证主要分为两个方向
对应到日常工作是如下的分类:
对于Calibre工具而言,也有对应的命令选项描述
对于版图编辑,相信更多的人会使用Viutuso,但是对于版图查看,自动化处理,以及版图检查calibre是不错的选择。Calibre对于GDS图案配置、图层切换、DRC高亮显示以及GDS自动化处理等操作的支持都很优秀。下面就一起来看一看calibre的日常使用之道吧。
上述的步骤,在实际的工作中主要会用到两个工具
Calibre的版图检查需要使用遵循SVRF语法规则的RSF,由于RSF(通常也被FAB称为 Decker)都是基于工艺和FAB的流片需求,用户是不用干预里边的细节配置,但是全局的配置是需要小心维护,这里以用户的DRC RSF为例:
命令 | 释义 |
---|---|
LAYOUT SYSTEM GDSII | 标注数据库数据类型 |
LAYOUT PATH “design.gds” | 主文件路径 |
LAYOUT PRIMARY “design” | 顶层设计名 |
DRC RESULTS DATABASE “drc.db” ASCII | 文本格式的DRC结果文件路径 |
DRC SUMMARY REPORT “drc_results.rpt” | DRC 报告文件路径 |
DRC MAXIMUM RESULTS ALL | DRC结果记录数量配置 |
INCLUDE “drc.rsf” | 工艺主DRC RSF路径定义 |
前边的项目都是需要用户自行配置,最后一个是FAB的提供的DRC RSF。使用RSF wrapper的好处是,项目里边多个用户可以使用本地的RSF wrapper去配置自己设计的具体需求,主RSF还是引用项目的signoff RSF即可。项目的signoff RSF有专业人员进行维护,确保项目的物理检查规则安全性。
对于工艺的DRC RSF文件里边,这里也分享一下里边的全局关键配置:
层次 | 描述 |
---|---|
M1 | 第一层metal,一般用于BE和FE layer层次的连接用 |
Mx | 从第二层开始的内层绕线层 |
Mz | 芯片的最高层选项一 |
My | 芯片的最高层选项二 |
Mr | 芯片的最高层选项三 |
Mu | 芯片的最高层选项四 |
RDL | 重分布绕线层,可以和PA进行连接 |
用户在检查DRC的时候,需要使用和设计版层配置一致的RSF,譬如项目选择的是九层结构,一层M1,内层五层,两层My和一层Mz,FAB通常是根据版层配置提供的RSF,那么用户需要选择如下版层结构的的RSF:
9M_5X2Y1Z.drc.rsf
项目 | 全芯片 | 模块级别 |
---|---|---|
PAD ring | Yes | NA |
seal ring | Yes | NA |
边角斜切影响 | Yes | NA |
边界密度(boundary density) | Yes | NA |
BUMP | Yes | NA |
注意这里罗列是版图里的异同,但并非所有的项目都会被RSF的full-chip配置所覆盖,具体的情况还需要具体分析,但是有一条必须铭记,全芯片级别的LV,一定需要打开下列选项!
词汇 | 释义 |
---|---|
Calibre | Mentor公司的版图验证工具 |
RSF | 版图验证工具规则描述文件的统称,也被称作DRC Decker |
calibredrv | calibre DESIGNrev,用于版图GUI查看 |
calibreRVE | Results Viewing Environment,版图验证结果查验工具 |
SVRF | Standard Verification Rule Format, RSF文件语法规范之一 |
TVF | Tcl Verification Format,RSF文件语法规范之一 |
GDS | Graphic Data System,业界流行的版图文件格式 |
OASIS | Open Artwork System Interchange Standard,下一代版图文件格式的有力竞争者 |
RDL | ReDistributionLayer,重分布绕线层 |
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