seal ring是什么
sealring 是围在芯片最外面,保护芯片的一道城墙,主要由diff contact via metal 等组成
seal ring怎么画
sealring 一般有环状的diff 和环状的metal contact via 组成,也是芯片中唯一把via contact 画成非方块的地方,一般sealring 距离scribe line 10um sealring 宽度10um,sealring 距离芯片内部layout 10um,占用了极大部分面积,对于不同制成,这几个数据可以调整。
seal ring怎么接
一般的PSUB工艺都会将seal ring做成P+的,接到芯片的ground,而其浮空一般也不会有影响;无特殊情况不能接到 power。
最好不要用metal1去将core和seal ring连接在一起,而是用其它上层 metal;如果有diff层连到seal ring, 在靠近seal ring的diff上面做一小段salicide结构(通常是加rpo或sab),这样对防止ESD绝对好处大大的。
如有需要开槽的宽金属连接到seal ring,请尽量不要在靠近 seal ring的地方开槽,非开槽不可的话那尽量开的小点,这些都是防止外界的杂质等进入芯片。
seal ring什么用
1.防止芯片在切割的时候受到机械损伤
2.sealring 接地,屏蔽芯片外的干扰
3.放置潮气从切割侧面侵入芯片内部
4.泄静电,泄掉切割产生的静电
5.平衡芯片应力
Seal Ring 主要作用是阻挡,出于可靠性的目的,最好就是浮空。但为了节约成本,可靠性要求不高的时候,Seal Ring又很宽,与core的间距还大(一般10um),所以,就有人将Seal Ring利用起来,当地线用了,或者作为地线的补充;地线的话,电阻越小越好,越宽越好,所以能用上的金属层可以都用上;但是要知道,Seal Ring与Core连接的越多,Seal Ring本身的效果就越差,可靠性就越差,有些工艺会在DRC中写明不允许使用M1等太低层次的金属连接Seal Ring。
联系客服