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微电子工艺一些专有名词(二)

21 B.O.E 缓冲蚀刻液 BOE是HF与NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蚀刻即表示HF:NH4F=1:6的成分混合而成。HF为主要的蚀刻液,NH4F则作为缓冲剂使用。利用NH4F固定〔H+〕的浓度,使之保持一定的蚀刻率。HF会浸蚀玻璃及任何含硅石的物质,对皮肤有强烈的腐蚀性,不小心被溅到,应用大量水冲洗。
22 BONDING PAD 焊垫 焊垫-晶利用以连接金线或铝线的金属层。在晶粒封装(Assembly)的制程中,有一个步骤是作“焊线”,即是用金线(塑料包装体)或铝线(陶瓷包装体)将晶粒的线路与包装体之各个接脚依焊线图(Bonding Diagram)连接在一起,如此一来,晶粒的功能才能有效地应用。由于晶粒上的金属线路的宽度即间隙都非常窄小,(目前SIMC所致的产品约是微米左右的线宽或间隙),而用来连接用的金线或铝线其线径目前由于受到材料的延展性即对金属接线强度要求的限制,祇能做到1.0~1.3mil(25.4~33j微米)左右,在此情况下,要把二、三十微米的金属线直接连接到金属线路间距只有3微米的晶粒上,一定会造成多条铝线的接桥,故晶粒上的铝路,在其末端皆设计成一个约4mil见方的金属层,此即为焊垫,以作为接线使用。焊垫通常分布再晶粒之四个外围上(以粒封装时的焊线作业),其形状多为正方形,亦有人将第一焊线点作成圆形,以资辨识。焊垫因为要作接线,其上得护层必须蚀刻掉,故可在焊垫上清楚地看到“开窗线”。而晶粒上有时亦可看到大块的金属层,位于晶粒内部而非四周,其上也看不到开窗线,是为电容。
23 BORON 硼 自然元素之一。由五个质子及六个中子所组成。所以原子量是11。另外有同位素,是由五个质子及五个中子所组成原子量是10(B10)。自然界中这两种同位素之比例是4:1,可由磁场质谱分析中看出,是一种P-type的离子(B 11+),用来作场区、井区、VT及S/D植入。
24 BPSG 含硼及磷的硅化物 BPSG乃介于Poly之上、Metal之下,可做为上下两层绝缘之用,加硼、磷主要目的在使回流后的Step较平缓,以防止Metal line溅镀上去后,造成断线。
25 BREAKDOWN VOLTAGE 崩溃电压 反向P-N接面组件所加之电压为P接负而N接正,如为此种接法则当所加电压通在某个特定值以下时反向电流很小,而当所加电压值大于此特定值后,反向电流会急遽增加,此特定值也就是吾人所谓的崩溃电压(BREAKDOWN VOLTAGE)一般吾人所定义反向P+ - N接面之反向电流为1UA时之电压为崩溃电压,在P+ - N或 N+-P之接回组件中崩溃电压,随着N(或者P)之浓度之增加而减小。
26 BURN IN 预烧试验 「预烧」(Burn in)为可靠性测试的一种,旨在检验出哪些在使用初期即损坏的产品,而在出货前予以剔除。预烧试验的作法,乃是将组件(产品)至于高温的环境下,加上指定的正向或反向的直流电压,如此残留在晶粒上氧化层与金属层之外来杂质离子或腐蚀性离子将容易游离而使故障模式(Failure Mode)提早显现出来,达到筛选、剔除「早期夭折」产品之目的。预烧试验分为「静态预烧」(Static Burn in)与「动态预烧」(Dynamic Burn in)两种,前者在试验时,只在组件上加上额定的工作电压即消耗额定的功率,而后者除此外并有仿真实际工作情况的讯号输入,故较接近实际状况,也较严格。基本上,每一批产品在出货前,皆须作百分之百的预烧试验,馾由于成本及交货其等因素,有些产品旧祇作抽样(部分)的预烧试验,通过后才出货。另外对于一些我们认为它品质够稳定且够水准的产品,亦可以抽样的方式进行,当然,具有高信赖度的产品,皆须通过百分之百的预烧试验。
27 CAD 计算机辅助设计 CAD:Computer Aided Design计算机辅助设计,此名词所包含的范围很广,可泛称一切计算机为工具,所进行之设计;因此不仅在IC设计上用得到,建筑上之设计,飞机、船体之设计,都可能用到。在以往计算机尚未广泛应用时,设计者必须以有限之记忆、经验来进行设计,可是有了所谓CAD后,我们把一些常用之规则、经验存入计算机后,后面的设计者,变可节省不少从头摸索的工作,如此不仅大幅地提高了设计的准确度,使设计的领域进入另一新天地。
28 CD MEASUREMENT 微距测试 CD: Critical Dimension之简称。通常于某一个层次中,为了控制其最小线距,我们会制作一些代表性之量测图形于晶方中,通常置于晶方之边缘。简言之,微距测量长当作一个重要之制程指针,可代表黄光制程之控制好坏。量测CD之层次通常是对线距控制较重要之层次,如氮化硅、POLY、CONT、MET…等,而目前较常用于测量之图形有品字型,L-BAR等。
29 CH3COOH 醋酸 ACETIC ACID 醋酸澄清、无色液体、有刺激性气味、熔点16.63℃、沸点118℃。与水、酒精、乙醚互溶。可燃。冰醋酸是99.8﹪以上之纯化物,有别于水容易的醋酸食入或吸入纯醋酸有中等的毒性,对皮肤及组织有刺激性,危害性不大,被溅到用水冲洗。
30 CHAMBER 真空室,反应室 专指一密闭的空间,常有特殊的用途:诸如抽真空、气体反应或金属溅度等。针对此特殊空间之种种外在或内在环境:例如外在粒子数(particle)、湿度及内在温度、压力、气体流量、粒子数等加以控制。达到芯片最佳反应条件。
31 CHANNEL 信道 当在MOS晶体管的闸极上加上电压(PMOS为负,NMOS为正),则闸极下的电子或电洞会被其电场所吸引或排斥而使闸极下之区域形成一反转层(Inversion Layer),也就是其下之半导体P-type变成N-type Si,N-type变成P-type Si,而与源极和汲极,我们旧称此反转层为“信道”。信道的长度“Channel Length”对MOS组件的参数有着极重要的影响,故我们对POLY CD的控制需要非常谨慎。
32 CHIP ,DIE 晶粒 一片芯片(OR晶圆,即Wafer)上有许多相同的方形小单位,这些小单位及称为晶粒。同一芯片上每个晶粒都是相同的构造,具有相同的功能,每个晶粒经包装后,可制成一颗颗我们日常生活中常见的IC,故每一芯片所能制造出的IC数量是很可观的,从几百个到几千个不等。同样地,如果因制造的疏忽而产生的缺点,往往就会波及成百成千个产品。
33 CLT(CARRIER LIFE TIME) 截子生命周期 一、 定义少数戴子再温度平均时电子被束缚在原子格内,当外加能量时,电子获得能量,脱离原子格束缚,形成自由状态而参与电流岛通的的工作,但能量消失后,这些电子/电洞将因在结合因素回复至平衡状态,因子当这些载子由被激发后回复平衡期间,称之为少数载子“LIFE TIME“二、 应用范围1.评估卢管和清洗槽的干净度2.针对芯片之清洁度及损伤程度对CLT值有影响为A.芯片中离子污染浓度及污染之金属种类B.芯片中结晶缺陷浓度
34 CMOS 互补式金氧半导体 金属氧化膜半导体(MOS,METAL-OXIDE SEMICONDUCTOR)其制程程序及先在单晶硅上形成绝缘氧化膜,再沉积一层复晶硅(或金属)作为闸极,利用家到闸极的电场来控制MOS组件的开关(导电或不导电)。按照导电载子的种类,MOS,又可分成两种类型:NMOS(由电子导电)和PMOS(由电洞导电)。而互补式金氧半导体(CMOSCOMPLEMENTARY MOS)则是由NMOS及PMOS组合而成,具有省电、抗噪声能力强、α-PARTICLE免疫力好等许多优点,是超大规模集成电路(VLSI)的主流。
35 COATING 光阻覆盖 将光阻剂以浸泡、喷雾、刷怖、或滚压等方法加于芯片上,称为光阻覆盖。目前效果最佳的方法为旋转法;旋转法乃是将芯片以真空吸附于一个可旋转的芯片支持器上,适量的光阻剂加在芯片中央,然后芯片开始转动,芯片上的光阻剂向外流开,很均匀的散在芯片上。要得到均匀的光阻膜,旋转速度必须适中稳定。而旋转速度和光阻剂黏滞性绝应所镀光阻剂的厚度。光阻剂加上后,必须经过软烤的步骤,以除去光阻剂中过多的溶剂,进而使光阻膜较为坚硬,同时增加光阻膜与芯片的接合能力的主要方法就是在于适当调整软烤温度与时间。经过了以上的镀光阻膜即软烤过程,也就是完成了整个光阻覆盖的步骤。
36 CROSS SECTION 横截面 IC的制造基本上是由一层一层的图案堆积上去,而为了了解堆积图案的构造,以改善制程或解决制程问题,经常会利用破坏性切割方式以电子显微镜(SEM)来观察,而切割横截面、观察横截面的方式是其中较为普遍之一种。
37 C-V PLOT 电容,电压圆 译意为电容、电压图:也就是说当组件在不同状况下,在闸极上施以某一电压时,会产生不同之电容值(此电压可为正或负),如此组件为理想的组件;也就是闸极和汲极间几乎没有杂质在里面(COMTAMINATION)。当外界环境改变时(温度或压力),并不太会影响它的电容值,利用此可MONITOR MOS 组件之好坏,一般△V<0.2为正常。
38 CWQC 全公司品质管制 以往有些经营者或老板,一直都认为品质管制是品管部门或品管主管的责任,遇到品质管制做不好时,即立即指责品质主管,这是不对的。品质管制不是品质部门或某一单位就可以做好的,而是全公司每一部门全体人员都参与才能做好。固品质管制为达到经营的目的,必须结合公司内所有部门全体人员协力合作,构成一个能共同认识,亦于实施的体系,并使工作标准化,且使所定的各种事项确实实行,使自市场调查、研究、开发、设计、采购、制造、检查、试验、出货、销售、服务为止的每一阶段的品质都能有效的管理,这就是所谓的全公司品质管制(Company Wide Quality Control)。实施CWQC的目的最主要的就是要改善企业体质;即发觉问题的体质、重视计划的体质、重点指向的体质、重视过程的体质,以及全员有体系导向的体质。
39 CYCLE TIME 生产周期时间 指原料由投入生产线到产品于生产线产生所需之生产/制造时间。在TI-ACER,生产周期有两种解释:一为“芯片产出周期时间”(WAFER-OUT CYCLE TIME ),一为“制程周期时间”(PROCESS CYCLE TIME)“芯片产出周期时间”乃指单一批号之芯片由投入到产出所需之生产/制造时间。“制程周期时间”则指所有芯片于单一工站平均生产/制造时间,而各工站(从头至尾)平均生产/制造之加总极为该制程之制程周期时间。目前TI-ACER LINE REPORT 之生产周期时间乃采用“制程周期时间”。一般而言,生产周期时间可以下列公式概略推算之:生产周期时间=在制品(WIP)/产能(THROUGHOUT)
40 CYCLE TIME 生产周期 IC制造流程复杂,且其程序很长,自芯片投入至晶圆测试完成,谓之Cycle Time。由于IC生命周期很短,自开发、生产至销售,需要迅速且能掌握时效,故Cycle Time越短,竞争能力就越高,能掌握产品上市契机,就能获取最大的利润。由于Cycle Time 长,不容许生产中的芯片因故报废或重做,故各项操作过程都要依照规范进行,且要做好故障排除让产品流程顺利,早日出FIB上市销售。

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