金属材料都是通过熔炼和铸造得到的，在此过程中，空气中的氢、氧、氮、碳的氧化物不同程度地熔于材料之中。存放材料时，其表面通过物理或化学吸附还会吸附大量气体，主要是水蒸气、氧、氮、碳的氧化物等。材料加工过程中的再污染及其本身的非致密性引起的渗透，这些因素就构成了真空中的主要气源。
超高真空所需要的材料，除满足真空材料的一般要求外，还应满足下列要求：
①在烘烤温度下，材料不应该丧失其力学性能；壳体材料能承受外部大气压力。一般低熔点金属和软玻璃满足不了这种要求。
②材料在烘烤温度下的蒸气压要低。
③材料的渗透气体量不能超过允许值。
④材料加热时不易变形。
⑤材料表面容易抛光。
从以上要求出发，适于超高真空中的通用材料有：
不锈钢—超高真空系统中的主要用材，常用作壳体、管道、法兰以及各种真空元件。我国常用的1Cr18Ni9Ti，美国多用304不锈钢。不锈钢材质很好，但采用焊接工艺不当，亦会造成晶间腐蚀、热裂缝、气孔、奥氏体焊缝脆化等缺陷，影响壳体的气密性。
氧化铝陶瓷——制作电极引入线的绝缘子和低损耗微波输出窗
可伐——制作与玻璃或陶瓷的封接件
金、银、铜——高温焊接及密封圈材料
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